Механізм відпалу VO дефектів в n-Si при високотемпературному імпульсному електронному опроміненні

• Datum: 2022
• Hauptverfasser: Kraitchinskii, A.M., Kras’ko, M.M., Kolosiuk, A.G., Petrunya , R.V., Povarchuk, V.Yu., Voitovych, V.V., Neimash, V.B., Makara, V.A., Rudenko, R.M.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian; English
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2022
• Schlagworte: -
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022028
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

Досліджено кінетику накопичення комплексу вакансія–кисень (VO) в n-Si, вирощеному методом Чохральського (Cz), при різних інтенсивностях імпульсного 1 МеВ електронного опромінення при температурах, вищих за температуру початку термічного відпалу VO (T ≥ 300 ºC). Показано, що опромінення електронами п...