Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування
The study of films containing narrow-gap semiconductors is a very promising field related to the production of thermal sensors. In this work, we consider the possibility of obtaining the film coatings from silicides of Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn, and P and BaTiO3 using ionplasma methods. The production...
Збережено в:
| Дата: | 2023 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2023
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2022517 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20225172023-05-11T14:51:32Z Development of Technology for Obtaining Nanosized Heterostructured Films by Ion-Plasma Deposition Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування Normuradov, M.T. Khozhiev, Sh.T. Dovranov, K.T. Davranov, Kh.T. Davlatov, M.A. Khollokov, F.K. metal silicides X-ray phase analysis Miller indices interplanar distance strict single-crystal structure barium titanate amorphous phase crystalline phase сiлiциди металiв рентгенiвський фазовий аналiз iндекси Мiллера мiжплощинна вiдстань структура монокристала тiтанат барiю аморфна фаза кристалiчна фаза The study of films containing narrow-gap semiconductors is a very promising field related to the production of thermal sensors. In this work, we consider the possibility of obtaining the film coatings from silicides of Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn, and P and BaTiO3 using ionplasma methods. The production of film coatings from metal silicides and BaTiO3 on the surface of crystalline silicon and mica and their electronic and X-ray structural characteristics are studied. The dependence of the properties of film coatings on the conditions of the film deposition is determined. Дослiдження плiвок, що мiстять вузькощiлиннi напiвпровiдники, є дуже перспективним напрямком, пов’язаним iз виробництвом теплових сенсорiв. Ми розглядаємо можливiсть створення плiвкових покриттiв iз BaTiO3 i сiлiцидiв елементiв Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn та P iонно-плазмовим методом. Такi покриття отримано нами на поверхнях кристалiчного кремнiю та слюди. Дослiджено їхнi електроннi та рентгеноструктурнi характеристики. Визначено залежнiсть властивостей плiвкових покриттiв вiд умов їх створення. Publishing house "Academperiodika" 2023-05-11 Article Article Original Research Article (peer-reviewed) Оригінальна дослідницька стаття (з незалежним рецензуванням) application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517 10.15407/ujpe68.3.210 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 68 No. 3 (2023); 210 Український фізичний журнал; Том 68 № 3 (2023); 210 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe68.3 en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517/2970 Copyright (c) 2023 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English |
| topic |
metal silicides X-ray phase analysis Miller indices interplanar distance strict single-crystal structure barium titanate amorphous phase crystalline phase сiлiциди металiв рентгенiвський фазовий аналiз iндекси Мiллера мiжплощинна вiдстань структура монокристала тiтанат барiю аморфна фаза кристалiчна фаза |
| spellingShingle |
metal silicides X-ray phase analysis Miller indices interplanar distance strict single-crystal structure barium titanate amorphous phase crystalline phase сiлiциди металiв рентгенiвський фазовий аналiз iндекси Мiллера мiжплощинна вiдстань структура монокристала тiтанат барiю аморфна фаза кристалiчна фаза Normuradov, M.T. Khozhiev, Sh.T. Dovranov, K.T. Davranov, Kh.T. Davlatov, M.A. Khollokov, F.K. Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| topic_facet |
metal silicides X-ray phase analysis Miller indices interplanar distance strict single-crystal structure barium titanate amorphous phase crystalline phase сiлiциди металiв рентгенiвський фазовий аналiз iндекси Мiллера мiжплощинна вiдстань структура монокристала тiтанат барiю аморфна фаза кристалiчна фаза |
| format |
Article |
| author |
Normuradov, M.T. Khozhiev, Sh.T. Dovranov, K.T. Davranov, Kh.T. Davlatov, M.A. Khollokov, F.K. |
| author_facet |
Normuradov, M.T. Khozhiev, Sh.T. Dovranov, K.T. Davranov, Kh.T. Davlatov, M.A. Khollokov, F.K. |
| author_sort |
Normuradov, M.T. |
| title |
Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_short |
Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_full |
Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_fullStr |
Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_full_unstemmed |
Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_sort |
розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування |
| title_alt |
Development of Technology for Obtaining Nanosized Heterostructured Films by Ion-Plasma Deposition |
| description |
The study of films containing narrow-gap semiconductors is a very promising field related to the production of thermal sensors. In this work, we consider the possibility of obtaining the film coatings from silicides of Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn, and P and BaTiO3 using ionplasma methods. The production of film coatings from metal silicides and BaTiO3 on the surface of crystalline silicon and mica and their electronic and X-ray structural characteristics are studied. The dependence of the properties of film coatings on the conditions of the film deposition is determined. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2023 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517 |
| work_keys_str_mv |
AT normuradovmt developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT khozhievsht developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT dovranovkt developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT davranovkht developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT davlatovma developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT khollokovfk developmentoftechnologyforobtainingnanosizedheterostructuredfilmsbyionplasmadeposition AT normuradovmt rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ AT khozhievsht rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ AT dovranovkt rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ AT davranovkht rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ AT davlatovma rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ AT khollokovfk rozrobkatehnologíívigotovlennânanorozmírnihplívokzneodnorídnoûstrukturoûmetodomíonnoplazmovogoosadžuvannâ |
| first_indexed |
2023-10-18T23:27:57Z |
| last_indexed |
2023-10-18T23:27:57Z |
| _version_ |
1795757765047615488 |