Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування

• Datum: 2023
• Hauptverfasser: Normuradov, M.T., Khozhiev, Sh.T., Dovranov, K.T., Davranov, Kh.T., Davlatov, M.A., Khollokov, F.K.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2023
• Schlagworte: сiлiциди металiв; рентгенiвський фазовий аналiз; iндекси Мiллера; мiжплощинна вiдстань; структура монокристала; тiтанат барiю; аморфна фаза; кристалiчна фаза
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

The study of films containing narrow-gap semiconductors is a very promising field related to the production of thermal sensors. In this work, we consider the possibility of obtaining the film coatings from silicides of Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn, and P and BaTiO3 using ionplasma methods. The production...