Роль олова у формуванні мікро- і наноструктури поверхні шаруватих плівок Si–Sn–Si

• Datum: 2023
• Hauptverfasser: Neimash, V.B., Shepelyavyi, P.E., Nikolenko, A.S., Strelchuk, V.V., Chegel, V.I., Olkhovyk, I.V., Voronov, S.O.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch; Ukrainisch
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2023
• Schlagworte: аморфний кремнiй; олово; тонкi плiвки; структура поверхнi; нанокристали; термiчне вакуумне напилення
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022602
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

The methods of Raman spectroscopy, scanning electron microscopy, atomic force microscopy, and X-ray fluorescence microanalysis are used to study the influence of tin on the shape and sizes of micro- and nano-structures arising on the surface of layered Si–Sn–Si films, as well as on the formation of...