нанокластери nanoclusters 3 - 2 diffusion 2 nanopores 2 дифузiя 2 нанопори 2 Bridgman–Stockbarger method 1 Van der Waals surfaces 1 aluminum carbide 1 aluminum nanoclusters 1 atomic force microscopy 1 buried layers 1 cluster approximation 1 coronene 1 defects 1 density functional theory method 1 graphene-like plane 1 ion implantation 1 iонна iмплантацiя 1 silicon carbide 1 ultrasound excitation 1 van der Waals surface 1 атомно-силова мiкроскопiя 1 ван-дер-ваальсовi поверхнi 1 графеноподібна площина 1 дефекти 1 карбід алюмінію 1 карбід кремнію 1 кластерне наближення 1