Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Показ 1 - 1 результатів із 1 для пошуку '"осаждение тонких пленок"', час виконання запиту: 0.02сек. Уточнити результати
  1. 1
    Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    за авторством Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
    Опубліковано 2012
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
Інструменти для пошуку: Отримати RSS-стрічку – Відправити пошук е-поштою – Зберегти пошук