Результати пошуку - Nalivaiko, O. Yu.
- Показ 1 - 4 результатів із 4
-
1
Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат... за авторством Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
Опубліковано 2015Отримати повний текст
Стаття -
2
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм за авторством Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Опубліковано 2012Отримати повний текст
Стаття -
3
-
4
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста за авторством Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
Опубліковано 2012Отримати повний текст
Стаття
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
deposition
адсорбционно-кинетическая модель
осаждение
поликристаллический кремний
adsorption kinetic model
adsorptive-kinetic model
borophosphatesilicate glass
capacitor
film deposition
poly-crystalline silicon
polysilicon
precipitation
silicon nitride
topological relief planarity
борофосфоросиликатное стекло
конденсаторный диэлектрик
нитрид кремния
осаждение тонких пленок
планарность топологического рельефа
процесс осаждения пленок