Suchergebnisse - Nalivaiko, O. Yu.
- Treffer 1 - 4 von 4
-
1
-
2
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм von Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2012Volltext
Artikel -
3
-
4
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста von Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2012Volltext
Artikel
Suchwerkzeuge:
Ähnliche Schlagworte
deposition
адсорбционно-кинетическая модель
осаждение
поликристаллический кремний
adsorption kinetic model
adsorptive-kinetic model
borophosphatesilicate glass
capacitor
film deposition
poly-crystalline silicon
polysilicon
precipitation
silicon nitride
topological relief planarity
борофосфоросиликатное стекло
конденсаторный диэлектрик
нитрид кремния
осаждение тонких пленок
планарность топологического рельефа
процесс осаждения пленок