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Nalivaiko, O. Yu.
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Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
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Nalivaiko, O. Yu.
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Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2012
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Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста...
von
Nalivaiko, O. Yu.
,
Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2009
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Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат...
von
Turtsevich, A. S.
,
Nalivaiko, O. Yu.
Veröffentlicht 2015
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4
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von
Nalivaiko, O. Yu.
,
Тurtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2012
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