Showing 1 - 3 results of 3 for search 'Nalivaiko, O. Yu.', query time: 0.00s Refine Results
  1. 1
    Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  2. 2
    Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  3. 3
    Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
Search Tools: RSS Feed – Email Search