Showing 1 - 4 results of 4 for search 'Nalivaiko, O. Yu.', query time: 0.00s Refine Results
  1. 1
    Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  2. 2
    Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пле­нок по­ли­крис­тал­ли­чес­ко­го крем­ния, ле­ги­ро­ван­ных фос­фо­ром в про­цес­се рос­та
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  3. 3
    Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  4. 4
    Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
Search Tools: RSS Feed – Email Search