Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering

von A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, L. A. Ivashchenko, O. K. Synelnychenko, S. M. Dub, O. S. Lytvyn, I. I. Tymofieieva, H. M. Tolmacheva
Veröffentlicht 2015