Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка

von Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю.
Veröffentlicht 2009

Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц

von Батурин, В.А., Еремин, С.А.
Veröffentlicht 2008

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения

von Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Пустовойтов, С.А.
Veröffentlicht 2006

Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера

von Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А.
Veröffentlicht 2006

Экспериментальная установка для получения кластерных пучков

von Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Литвинов, П.А., Пустовойтов, С.А.
Veröffentlicht 2006

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора

von Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Нагорный, А.Г., Пустовойтов, С.А.
Veröffentlicht 2002

Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов...

von Пустовойтов, С.А., Батурин, В.А., Ерёмин, С.А., Карпенко, А.Ю.
Veröffentlicht 2008

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

von Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Veröffentlicht 2015

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов

von Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Кирик, Г.В., Мирошниченко, В.И., Нагорный, А.Г., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Нагорный, В.А.
Veröffentlicht 2012