Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц

by Батурин, В.А., Еремин, С.А.
Published 2008

Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера

by Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А.
Published 2006

Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов...

by Пустовойтов, С.А., Батурин, В.А., Ерёмин, С.А., Карпенко, А.Ю.
Published 2008

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

by Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Published 2015

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов

by Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Кирик, Г.В., Мирошниченко, В.И., Нагорный, А.Г., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Нагорный, В.А.
Published 2012