Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей...

by Федорович, О.А., Кругленко, М.П., Полозов, Б.П.
Published 2009

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

by Гладковский, В.В., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Петряков, В.А.
Published 2014

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

by Болтовец, Н.С., Борисенко, А.Г., Иванов, В.Н., Федорович, О.А., Кривуца, В.А., Полозов Б.П.
Published 2009

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

by Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Published 2005

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками

by Максименко, Л.С., Мищук, О.Н., Матяш, И.Е., Сердега, Б.К., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Савинков, Г.К.
Published 2013