Search Results - Borisenko, A.G.
- Showing 1 - 9 results of 9
-
1
-
2
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники by Borisenko, A. G.
Published 2013Get full text
Article -
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
Search Tools:
Related Subjects
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Low temperature plasma and plasma technologies
4NSiC silicon carbide
Applications and technologies
anode
arc discharge
diode chip
epitaxial layers
gallium nitride
ion-plasma etching
mesastructure
nanostructure
plasma-chemical etching
plasma-chemical reactor
p–i–n-diode
p–i–n-диод
silicon etching
vacuum
анод
вакуум
дуговой разряд
карбид кремния 4НSiC
мезаструктура
наноструктура
нитрид галлия
плазмохимический реактор
плазмохимическое травление
травление ионно-плазменное
травление кремния
чип диода