Search Results - Borisenko, A.G.
- Showing 1 - 10 results of 10
-
1
-
2
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники by Borisenko, A. G.
Published 2013Get full text
Article -
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
Пам’ятi Костянтина Павловича Шамрая by Azarenkov, M. O., Vyshnevskyi, I. M., Zagorodny, A. G., Zhovtyansky, V. A., Slisenko, V. I., Anisimov, I. O., Borisenko, A. G., Virko, V. F., Garkusha, I. E., Goncharov, O. A., Grekov, D. L., Gurin, A. A., Denisov, V. Yu., Zasenko, V. I., Karas’, V. I., Kolesnichenko, Y. I., Lashkin, V. M., Onishchenko, I. M., Pavlenko, V. M., Slobodyan, V. M., Starchyk, P. D., Fedorovych, O. A., Tsiolko, V. V.
Published 2018Get full text
Article
Search Tools:
Related Subjects
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Low temperature plasma and plasma technologies
-
4NSiC silicon carbide
Applications and technologies
anode
arc discharge
diode chip
epitaxial layers
gallium nitride
ion-plasma etching
mesastructure
nanostructure
plasma-chemical etching
plasma-chemical reactor
p–i–n-diode
p–i–n-диод
silicon etching
vacuum
анод
вакуум
дуговой разряд
карбид кремния 4НSiC
мезаструктура
наноструктура
нитрид галлия
плазмохимический реактор
плазмохимическое травление
травление ионно-плазменное
травление кремния