Харвестер відкритої науки НАН України

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor

von Dudin, S.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2010

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обе­с­пе­чи­ва­ю­щий минимальную интенсивность отказов...

von Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M.
Veröffentlicht 2011

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

von Dudin, S.V., Farenik, V.I., Dahov, A.N., Walkowicz, J.
Veröffentlicht in Физическая инженерия поверхности (2005)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

von Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)