Результати пошуку - Dahov, A.N.
- Показ 1 - 3 результатів із 3
-
1
-
2
Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)Отримати повний текст
Стаття -
3
2D fluid model for interactive development of ICP technological tools за авторством Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)Отримати повний текст
Стаття