Результати пошуку - Grigoriev, N. N.
- Показ 1 - 2 результатів із 2
-
1
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников... за авторством Grigoriev, N. N., Kravetsky, M. Yu., Pashchenko, G. A., Sypko, S. A., Fomin, A. V.
Опубліковано 2003Отримати повний текст
Стаття -
2
Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers за авторством Grigoriev, N.N., Kravetsky, M.Yu., Paschenko, G.A., Sypko, S.A., Fomin, A.V.
Опубліковано в: Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics (2002)Отримати повний текст
Стаття