Результати пошуку - Kravetsky, M.Yu.
- Показ 1 - 2 результатів із 2
-
1
-
2
Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers за авторством Grigoriev, N.N., Kravetsky, M.Yu., Paschenko, G.A., Sypko, S.A., Fomin, A.V.
Опубліковано в: Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics (2002)Отримати повний текст
Стаття