Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters von Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Lukomskij, D.V., Marinenko, A.A., Polozov, B.P.

Volltext

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей... von Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.

Volltext