Результати пошуку - Medvedeva, A. B
- Показ 1 - 2 результатів із 2
-
1
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок... за авторством Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Опубліковано 2009Отримати повний текст
Стаття -
2
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением за авторством Ivanchikov, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B., Plebanovich, V. I., Ponomar, V. N., Shikulo, V. E.
Опубліковано 2003Отримати повний текст
Стаття
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
PRX chemical solutions
contact reflow operation
etching rate
film structure
plasma-chemical etching
polymer contamination removal
polymer residues
silicon dioxide thickness variation
thermal removal method
transmission spectrum
операция «оплавление контактов»
плазмохимическое травление
полимерные остатки
разброс толщины диоксида кремния
растворы PRX
скорость травления
спектр пропускания
струкрура пленки
термический метод удаления
удаление полимерных загрязнений