silicon nitride 3 нитрид кремния capacitor 1 crack resistance 1 deposition 1 dielectric film 1 hardness 1 internal mechanical stresses 1 microelectromechanical systems 1 seals 1 silicon oxide 1 sintering under pressure 1 structure 1 titanium nitride 1 wear resistance 1 внутренние механические напряжения 1 диэлектрические пленки 1 зносостійкість 1 износостойкость 1 конденсаторный диэлектрик 1 микроэлектромеханические системы 1 нитрид титана 1 нітрид кремнію 1 нітрид титану 1 оксид кремния 1 осаждение тонких пленок 1 спекание под давлением 1 спікання під тиском 1 структура 1 твердость 1