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    Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат
    von Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
    Veröffentlicht 2015
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  2. 2
    Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    von Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
    Veröffentlicht 2012
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  3. 3
    Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста
    von Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
    Veröffentlicht 2012
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