Показ 1 - 3 результатів із 3 для пошуку 'Nalivaiko, O. Yu.', час виконання запиту: 0.01сек. Уточнити результати
  1. 1
    Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат
    за авторством Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
    Опубліковано 2015
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
  2. 2
    Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    за авторством Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
    Опубліковано 2012
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
  3. 3
    Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста
    за авторством Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
    Опубліковано 2012
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
Інструменти для пошуку: Отримати RSS-стрічку – Відправити пошук е-поштою