Показ
1 - 4
результатів із
4
для пошуку '
Nalivaiko, O. Yu.
'
Перейти до змісту
VuFind
Ваш обліковий запис
Вихід
Логін
Мова
English
Deutsch
Українська
Харвестер відкритої науки НАН України
Всі поля
Назва
Назва журналу
Автор
Предмет
Опис
Тег
Full text
Знайти
Розширений
Автор
Nalivaiko, O. Yu.
Показ
1 - 4
результатів із
4
для пошуку '
Nalivaiko, O. Yu.
'
, час виконання запиту: 0.01сек.
Уточнити результати
Сортувати
Релевантність
Дата у спадаючому порядку
Дата у зростаючому порядку
Шифр
Автор
Назва
Вибрати сторінку | з відміченими:
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Вибрати результат під номером 1
1
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством
Nalivaiko, O. Yu.
,
Turtsevich, A. S.
Опубліковано 2012
Отримати повний текст
Стаття
Додати у Вибране
Збережено в:
Вибрати результат під номером 2
2
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста...
за авторством
Nalivaiko, O. Yu.
,
Turtsevich, A. S.
Опубліковано 2009
Отримати повний текст
Стаття
Додати у Вибране
Збережено в:
Вибрати результат під номером 3
3
Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат...
за авторством
Turtsevich, A. S.
,
Nalivaiko, O. Yu.
Опубліковано 2015
Отримати повний текст
Стаття
Додати у Вибране
Збережено в:
Вибрати результат під номером 4
4
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством
Nalivaiko, O. Yu.
,
Тurtsevich, A. S.
Опубліковано 2012
Отримати повний текст
Стаття
Додати у Вибране
Збережено в:
Вибрати сторінку | з відміченими:
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Інструменти для пошуку:
Отримати RSS-стрічку
–
Відправити пошук е-поштою
Пов'язані теми
deposition
адсорбционно-кинетическая модель
осаждение
поликристаллический кремний
adsorption kinetic model
adsorptive-kinetic model
borophosphatesilicate glass
capacitor
film deposition
poly-crystalline silicon
polysilicon
precipitation
silicon nitride
topological relief planarity
борофосфоросиликатное стекло
конденсаторный диэлектрик
нитрид кремния
осаждение тонких пленок
планарность топологического рельефа
процесс осаждения пленок