2025-02-23T09:06:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22drspiprikievua-article-105215%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T09:06:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22drspiprikievua-article-105215%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T09:06:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T09:06:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Registration Materials for Laser Thermolithography

The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of lase...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Kryuchyn, A. A., Rubish, V. M., Kostiukevych, S. O., Minko, V. I., Shepelyavy, P. E., Lysyuk, V. O., Kostyukevych, K. V., Surmach, M. A.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Subjects:	термолітографія неорганічні фоторезисти нелінійна експозиційна характеристика термолитография неорганические фоторезисты нелинейная экспозиционная характеристика thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
Online Access:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	drspiprikievua-article-105215
record_format	ojs
spelling	drspiprikievua-article-1052152024-08-30T12:21:16Z Registration Materials for Laser Thermolithography Регистрирующие материалы для лазерной термолитографии Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії Kryuchyn, A. A. Rubish, V. M. Kostiukevych, S. O. Minko, V. I. Shepelyavy, P. E. Lysyuk, V. O. Kostyukevych, K. V. Surmach, M. A. термолітографія неорганічні фоторезисти нелінійна експозиційна характеристика термолитография неорганические фоторезисты нелинейная экспозиционная характеристика thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented. Fig.: 3. Refs: 21 titles. Представлены результаты анализа свойств фоточувствительных материалов с нелинейной экспозиционной характеристикой. Показано, что существует ряд фото(термо)чувствительных ма-териалов, позволяющих регистрировать изображения, размеры которых меньше диаметра экспонирующего луча. Представлены результаты лазерной записи на неорганических фоторезистах. Ил.: 3. Библиогр.: 21 наим. Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менше діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. Іл.: 3. Бібліогр.: 21 найм. Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012-09-18 Article Article application/pdf http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215 10.35681/1560-9189.2012.14.3.105215 Data Recording, Storage & Processing; Vol. 14 No. 3 (2012); 3-11 Регистрация, хранение и обработка данных; Том 14 № 3 (2012); 3-11 Реєстрація, зберігання і обробка даних; Том 14 № 3 (2012); 3-11 1560-9189 uk http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215/100394 Авторське право (c) 2012 Реєстрація, зберігання і обробка даних
institution	Data Recording, Storage & Processing
baseUrl_str
datestamp_date	2024-08-30T12:21:16Z
collection	OJS
language	Ukrainian
topic	термолітографія неорганічні фоторезисти нелінійна експозиційна характеристика термолитография неорганические фоторезисты нелинейная экспозиционная характеристика thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
spellingShingle	термолітографія неорганічні фоторезисти нелінійна експозиційна характеристика термолитография неорганические фоторезисты нелинейная экспозиционная характеристика thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics Kryuchyn, A. A. Rubish, V. M. Kostiukevych, S. O. Minko, V. I. Shepelyavy, P. E. Lysyuk, V. O. Kostyukevych, K. V. Surmach, M. A. Registration Materials for Laser Thermolithography
topic_facet	термолітографія неорганічні фоторезисти нелінійна експозиційна характеристика термолитография неорганические фоторезисты нелинейная экспозиционная характеристика thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
format	Article
author	Kryuchyn, A. A. Rubish, V. M. Kostiukevych, S. O. Minko, V. I. Shepelyavy, P. E. Lysyuk, V. O. Kostyukevych, K. V. Surmach, M. A.
author_facet	Kryuchyn, A. A. Rubish, V. M. Kostiukevych, S. O. Minko, V. I. Shepelyavy, P. E. Lysyuk, V. O. Kostyukevych, K. V. Surmach, M. A.
author_sort	Kryuchyn, A. A.
title	Registration Materials for Laser Thermolithography
title_short	Registration Materials for Laser Thermolithography
title_full	Registration Materials for Laser Thermolithography
title_fullStr	Registration Materials for Laser Thermolithography
title_full_unstemmed	Registration Materials for Laser Thermolithography
title_sort	registration materials for laser thermolithography
title_alt	Регистрирующие материалы для лазерной термолитографии Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
description	The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented. Fig.: 3. Refs: 21 titles.
publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
publishDate	2012
url	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215
work_keys_str_mv	AT kryuchynaa registrationmaterialsforlaserthermolithography AT rubishvm registrationmaterialsforlaserthermolithography AT kostiukevychso registrationmaterialsforlaserthermolithography AT minkovi registrationmaterialsforlaserthermolithography AT shepelyavype registrationmaterialsforlaserthermolithography AT lysyukvo registrationmaterialsforlaserthermolithography AT kostyukevychkv registrationmaterialsforlaserthermolithography AT surmachma registrationmaterialsforlaserthermolithography AT kryuchynaa registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT rubishvm registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT kostiukevychso registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT minkovi registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT shepelyavype registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT lysyukvo registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT kostyukevychkv registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT surmachma registriruûŝiematerialydlâlazernojtermolitografii AT kryuchynaa reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT rubishvm reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT kostiukevychso reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT minkovi reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT shepelyavype reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT lysyukvo reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT kostyukevychkv reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí AT surmachma reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
first_indexed	2024-04-21T19:33:37Z
last_indexed	2024-08-31T04:03:22Z
_version_	1810018562188771328

Registration Materials for Laser Thermolithography

Similar Items