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Registration Materials for Laser Thermolithography

The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of lase...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Kryuchyn, A. A., Rubish, V. M., Kostiukevych, S. O., Minko, V. I., Shepelyavy, P. E., Lysyuk, V. O., Kostyukevych, K. V., Surmach, M. A.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Schlagworte:	thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
Online Zugang:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215
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Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Institution

Data Recording, Storage & Processing

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