Registration Materials for Laser Thermolithography

Registration Materials for Laser Thermolithography

The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of lase...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2012
Автори:	Kryuchyn, A. A., Rubish, V. M., Kostiukevych, S. O., Minko, V. I., Shepelyavy, P. E., Lysyuk, V. O., Kostyukevych, K. V., Surmach, M. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Теми:	thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Perspectives for using technology of laser thermolithography
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2012)

Perspectives for using technology of laser thermolithography
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Nonrelativistic free electron lasers
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2007)

Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se
за авторством: Indutny, I. Z., та інші
Опубліковано: (2013)

COMPARATIVE EVALUATION OF THE EFFICIENCY OF SOLAR TRACKING WITH UNIAXIAL TRACKING DEVICE
за авторством: Syrotyuk, S., та інші
Опубліковано: (2022)

Some aspects of mechanical characteristics forming in carbon materials based on exfoliated graphite
за авторством: Sementsov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2002)

Low-field electron emission and cathode luminescence of piezoelectric films of oxides and chalcogenides
за авторством: Dadykin, A.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Mass-spectrometric study of single-walled carbon nanotubes modified by aliphatic amines
за авторством: Gromovoy, Yu., та інші
Опубліковано: (2002)

Synthesis of high-temperature superconducting yttrium-barium cuprate single crystals and study of their properties
за авторством: Bakuntseva, M.V., та інші
Опубліковано: (2002)

Subthreshold defect formation in YBa₂Cu₃O₇₋δ at nonuniform heating of electron gas in electromagnetic field
за авторством: Adonkin, V.T., та інші
Опубліковано: (2002)

Defect formation in the intermediate layers of YBa₂Cu₃O₇₋δ superconductors depending on oxygen сontents
за авторством: Adonkin, V.T., та інші
Опубліковано: (2002)

Optical properties of metal-composite-based thin films
за авторством: Gozhenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2002)

Spectral and quantum-mechanical study of electronic structure of ultradispersed calcium hydroxyapatite
за авторством: Shpak, A.P., та інші
Опубліковано: (2002)

Formation of cluster structures on thermoexfoliated graphite by electrochemical method
за авторством: Sidorenko, I.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Study of water diffusion in lymphocyte membranes from thymus gland and spleen of rats by method of quasi-elastic scattering of slow neutrons
за авторством: Grechko, L.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Stabilizing small particles of lithium hydroxide with adsorbed water molecules: a quantum chemical study
за авторством: Grebenyuk, A.G.
Опубліковано: (2002)

Electrodynamic properties of matrix dispersed systems with two-layer inclusions
за авторством: Grechko, L.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: V. V. Petrov, та інші
Опубліковано: (2020)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Excitation and properties of large amplitude soliton near foil at laser pulse interaction with it
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Energy losses of a point magnetic dipole due to interaction with a magnetized plasma cylinder
за авторством: Averkov, Yu.O., та інші
Опубліковано: (2021)

Oscillatory instability
за авторством: Buts, V.A.
Опубліковано: (2019)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Intermittency in Hamiltonian systems
за авторством: Slipushenko, S.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Generalized Kramers’ problem for Lévy particle
за авторством: Sliusarenko, A.Yu., та інші
Опубліковано: (2007)

Control of wave interaction processes in plasma
за авторством: Buts, V.O., та інші
Опубліковано: (2021)

The influence of incident and reflected potential wave on the point vortex evolution near a solid surface
за авторством: Kulik, K.N., та інші
Опубліковано: (2007)

On the nature of coherents in the system of oscillators
за авторством: Kuklin, V.M.
Опубліковано: (2019)

Dissipative instabilities and superradiation regimes (classic models)
за авторством: Kuklin, V.M., та інші
Опубліковано: (2021)

Features of weakly nonlinear wave interaction
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Dynamical chaos rise in the system of large number of nonlinear coupled oscillators
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2007)

Separation of electroencephalogram low-frequency components on the basis of the stochastic resonance effect
за авторством: Kharchenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2021)

Two consecutive heterogeneous reactions of second order in well mixed aerosol system
за авторством: Kopiychenko, D.Yu., та інші
Опубліковано: (2007)

Polymorphous billiard as a new type of billiards with chaotic ray dynamics
за авторством: Naydenov, S.V., та інші
Опубліковано: (2007)

The world of chaos
за авторством: Bolotin, Yu.L ., та інші
Опубліковано: (2007)

Quasi-harmonic oscillations in a nonlinear transmission line, resulting from cherenkov synchronism
за авторством: Karelin, S.Y., та інші
Опубліковано: (2019)

Modulation instability in two component Bose-Einstein condensate with relative component motion
за авторством: Ivashin, A.P., та інші
Опубліковано: (2019)

Construction of probabilistic solutions of the Boltzmann equation
за авторством: Virchenko, Yu.P., та інші
Опубліковано: (2007)

On the transformation of the linear differential equation into a system of the first order equations
за авторством: Ayzatsky, M.I.
Опубліковано: (2019)

Transformation of the linear difference equation into a system of the first order difference equations
за авторством: Ayzatsky, M.I.
Опубліковано: (2019)