Зображення обкладинки

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching

Modern approaches used in the formation of microrelief structures on the surface of highly stable single-crystal substrates are considered. The priority of submicron photolithography methods, in particular, the use of plasma chemical etching with a multilayer mask is shown. The analysis of the techn...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2021
Автори:	Панкратова, А. В., Крючин, А. А., Бородін, Ю. О., Беляк, Є. В., Пригун, О. В.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2021
Теми:	microrelief structure chemical etching laser recording sapphire substrates mathematical modeling chromium film photoresist layer
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/235022
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)

A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning
за авторством: Косяк, І. В.
Опубліковано: (2025)

The impact of low temperature thermal annealing on optical properties of thin composite films
за авторством: Gorbov, I. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)

Design Features for Recording Systems of High Density Optical Discs
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2014)

Diffraction Control of Optical Discs Microrelief
за авторством: Antonov, E. E., та інші
Опубліковано: (2016)

Energy-saving technology for processing of exhausted etching solutions with obtaining of ferromagnetic compounds
за авторством: Samchenko, Dmitry N., та інші
Опубліковано: (2022)

Semiconductor laser diode control in optical disc writing systems.
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2019)

System Records High-Density Optical Disks
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2012)

Method of building a mathematical model of layered flows
за авторством: Cherniy, Dmytro I.
Опубліковано: (2020)

Conditions for effective application of passive speckle reduction methods and decoherent focusing method in laser illumination systems
за авторством: Лапчук, А. С., та інші
Опубліковано: (2025)

MINERAL WATERS WITH INCREASED MINERALIZATION WITHIN UKRAINE
за авторством: Ovchynnikova, N.B., та інші
Опубліковано: (2019)

Registration Materials for Laser Thermolithography
за авторством: Kryuchyn, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

The theory of reducing speckles in a laser projector with a very long multimode fiber
за авторством: Лапчук, А. С., та інші
Опубліковано: (2020)

Формирование слоистой структуры в плёнках никеля при электроосаждении импульсным током
за авторством: Штапенко, Э.Ф., та інші
Опубліковано: (2019)

Low-temperature directed crystallization as a realization of Green Chemistry principles.
за авторством: Eksperiandova, L.P.
Опубліковано: (2016)

Evidence of hydroxyl radical created by DBD plasma in water and its application in dye wastewater remediation
за авторством: Wang Ying, та інші
Опубліковано: (2016)

A new textile sizing prepared by the hemp core cellulose ethers
за авторством: Zhang Xin, та інші
Опубліковано: (2016)

Screening of lignin-degrading fungi for their ability to decay cassava residue
за авторством: Bin Xu, та інші
Опубліковано: (2016)

The influence of rotating magnetic field on the welding arc motion status
за авторством: Zhi-gang Li, та інші
Опубліковано: (2016)

Повышение качества поверхностных электроэрозионно-легированных слоёв комбинированными покрытиями и поверхностным пластическим деформированием. I. Особенности формирования комбинированных электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2019)

Technologies for manufacturing optical media for long-term data storage
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Development and Investigation of a Steel–Molybdenum Coating Deposited by the Gas–Thermal Method
за авторством: Bolshakov, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

LASER CAVITY WITH A GRADUALLY EXPANDING RADIATION BEAM IN THE ACTIVE MEDIUM
за авторством: Dzyubenko, M. I., та інші
Опубліковано: (2023)

Improved surface plasmon resonance sensors with prism type of excitation on polymer basis
за авторством: Kostyukevych, S. O., та інші
Опубліковано: (2019)

RGB laser projector with uniform speckle-free illumination based on a compact passive system of incoherent focusing
за авторством: Лапчук, А. С., та інші
Опубліковано: (2024)

Advanced resource-efficient technologies for Chromium (VI) removal from industrial wastewater: analysis and reuse potential
за авторством: Poroshenko, Serhii, та інші
Опубліковано: (2025)

A study of applications of nanotexturized sapphire as a template for MOCVD-heteroepitaxy of III-nitrides
за авторством: Sukhovii, N. O., та інші
Опубліковано: (2018)

Processing the quadrature signals of an interferometer using an Arduino microcontroller
за авторством: Бородін, Ю. О., та інші
Опубліковано: (2025)

On the experience of reproducing sound information from rarity record carriers and putting it into scientific circulation
за авторством: Kosyak, I. V., та інші
Опубліковано: (2017)

PROSPECTS OF THE USE OF GRADIENT GRATES IN THE LASERS OF TERAHERTZ RANGE
за авторством: Dzyubenko, M. I., та інші
Опубліковано: (2018)

Peculiarities of the formation of homogenized images by plane-focusing Fresnel lenses
за авторством: Петров, В. В., та інші
Опубліковано: (2023)

Laser-induced changes in optical properties of amorphous films of the system Ge-Se
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2024)

Formation of radial optical structures on a circular laser recording system
за авторством: Косяк, І. В., та інші
Опубліковано: (2024)

ON THE PROBLEM OF INCREASING COMPUTATION ACCURACY FOR RATED PARAMETERS OF ACTIVE ELECTRICAL INSTALLATION GROUND GRIDS
за авторством: Koliushko, G. M., та інші
Опубліковано: (2014)

INFLUENCE OF RATIO BETWEEN INOCULUM AND ORGANIC SUBSTRATE ON THE YIELD OF BIOGAS
за авторством: Chetveryk, H., та інші
Опубліковано: (2021)

Anaerobic fermentation of bird manure with cellulose waste
за авторством: Golub, N., та інші
Опубліковано: (2016)

Optical Properties of Dye-Filled Polymer Films Deposited in Vacuum
за авторством: Гриценко, К., та інші
Опубліковано: (2012)

Traces of editing in digital phonograms performed by method of excision and transposition of fragments
за авторством: Rybalsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2016)