Direct laser writing technology for microrelief metal structures on thin chromium films
Direct laser writing is increasingly considered a promising maskless alternative to conventional photolithography for the fabrication of microrelief structures required in photonics, micro-optics, and information-optical systems. The present study investigates the formation of micro-structured relie...
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| Datum: | 2026 |
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| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2026
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/363130 |
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| Назва журналу: | Data Recording, Storage & Processing |
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