Direct laser writing technology for microrelief metal structures on thin chromium films

Direct laser writing is increasingly considered a promising maskless alternative to conventional photolithography for the fabrication of microrelief structures required in photonics, micro-optics, and information-optical systems. The present study investigates the formation of micro-structured relie...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2026
Автори: Чегіль, Ю. І., Буток, О. М., Беляк, Є. В., Крючин, А. А.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2026
Теми:
Онлайн доступ:https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/363130
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Data Recording, Storage & Processing
Завантажити файл: Pdf

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси