Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂

• Дата: 2013
• Автори: Torianik, I.N., Beresnev, V.M., Pogrebnjak, A.D., Sobol, O.V., Beresneva, Ye.V., Podcherniaieva, I.A., Kropotov, A.Yu., Stiervoiedov, N.G., Turbin, P.V., Kolesnikov, D.A., Grankin, S.S., Nyemchenko, U.S., Srebniuk, P.A., Novikov, V.Yu.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Назва видання: Физическая инженерия поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100317
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa. The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate.