Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂
By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficie...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100317 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-100317 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1003172016-05-20T03:03:12Z Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa. The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate. Магнетронным методом распыления, с применением постоянного и импульсного напряжений намишень, полученыпокрытия на основе керамики AlN-TiB₂-TiSi₂. Выявлено аморфноподобную структуру сформированных покрытий с областью упорядочения ~ 1 нм и коэффициентом вязкопластичности 0,07. Твердость покрытий достигает 15,3 ГПа, а модуль упругости составляет 206 ГПа. Покрытия характеризуются высокой адгезионной прочностью по отношению к подложке. Магнетронним методом розпилення, іззастосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки. 2013 Article Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100317 539.2: 538.975 en Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target,
the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the
obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient
of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa.
The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate. |
| format |
Article |
| author |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. |
| spellingShingle |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Torianik, I.N. Beresnev, V.M. Pogrebnjak, A.D. Sobol, O.V. Beresneva, Ye.V. Podcherniaieva, I.A. Kropotov, A.Yu. Stiervoiedov, N.G. Turbin, P.V. Kolesnikov, D.A. Grankin, S.S. Nyemchenko, U.S. Srebniuk, P.A. Novikov, V.Yu. |
| author_sort |
Torianik, I.N. |
| title |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_short |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_full |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_fullStr |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_full_unstemmed |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ |
| title_sort |
magnetron sputtering of high temperature composite ceramics aln-tib₂-tisi₂ |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100317 |
| citation_txt |
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT torianikin magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT beresnevvm magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT pogrebnjakad magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT sobolov magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT beresnevayev magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT podcherniaievaia magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT kropotovayu magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT stiervoiedovng magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT turbinpv magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT kolesnikovda magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT grankinss magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT nyemchenkous magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT srebniukpa magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 AT novikovvyu magnetronsputteringofhightemperaturecompositeceramicsalntib2tisi2 |
| first_indexed |
2024-03-30T08:49:11Z |
| last_indexed |
2024-03-30T08:49:11Z |
| _version_ |
1796148659284344832 |