Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
Modernization of horizontal low pressure deposition system has been performed. The liquid source delivery system using the bubblers has been developed. The PSG and BPSG film deposition processes and film properties using TEOS-Dimethylphosphite-TEB system have been studied. It is shown that the use o...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2015
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100479 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system / A.S. Turtsevich, O.Y. Nalivaiko // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 1. — С. 49-58. — Бібліогр.: 34 назв. — англ. |