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    Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
    von Turtsevich, A.S., Nalivaiko, O.Y.
    Veröffentlicht 2015
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    von Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
    Veröffentlicht 2015
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    von Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
    Veröffentlicht 2012
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    Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
    von Turtsevich, A.S., Nalivaiko, O.Y.
    Veröffentlicht 2015
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