High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge

In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Bizyukov, A.A., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Tarasov, I.K., Chunadra, A.G.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109210
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-109210
record_format dspace
spelling irk-123456789-1092102016-11-22T03:02:36Z High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge Bizyukov, A.A. Sereda, K.N. Sleptsov, V.V. Tarasov, I.K. Chunadra, A.G. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent a transition from the magnetron to the arc is shown experimentally. It is shown that the use of such a magnetic field configuration provides efficient interruption of the arc current without external forced shutdown of the discharge. Исследованы особенности сильноточных режимов работы планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим. Экспериментально показана возможность использования пространственно-модулированного дополнительного магнитного поля в прианодной области для предотвращения перехода режима работы из магнетронного в дуговой. Показано, что использование такой конфигурации магнитного поля обеспечивает эффективное прерывание дугового тока без принудительного внешнего выключения магнетронного разряда. Досліджені особливості сильнострумових режимів роботи планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговий режим. Експериментально показана можливість використання просторово-модульованого допоміжного магнітного поля в прианодній області для запобігання переходу режиму роботи з магнетронного в дуговий. Показано, що використання такої конфігурації магнітного поля забезпечує ефективне переривання дугового струму без примусового зовнішнього вимикання магнетронного розряду. 2012 Article High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109210 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
spellingShingle Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Bizyukov, A.A.
Sereda, K.N.
Sleptsov, V.V.
Tarasov, I.K.
Chunadra, A.G.
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
Вопросы атомной науки и техники
description In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent a transition from the magnetron to the arc is shown experimentally. It is shown that the use of such a magnetic field configuration provides efficient interruption of the arc current without external forced shutdown of the discharge.
format Article
author Bizyukov, A.A.
Sereda, K.N.
Sleptsov, V.V.
Tarasov, I.K.
Chunadra, A.G.
author_facet Bizyukov, A.A.
Sereda, K.N.
Sleptsov, V.V.
Tarasov, I.K.
Chunadra, A.G.
author_sort Bizyukov, A.A.
title High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
title_short High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
title_full High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
title_fullStr High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
title_full_unstemmed High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
title_sort high-current pulsed operation modes of the planar mss with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2012
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109210
citation_txt High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT bizyukovaa highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge
AT seredakn highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge
AT sleptsovvv highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge
AT tarasovik highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge
AT chunadraag highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge
first_indexed 2023-10-18T20:19:26Z
last_indexed 2023-10-18T20:19:26Z
_version_ 1796149556476379136