The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on su...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111035 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111035 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1110352017-01-08T03:04:00Z The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Low temperature plasma and plasma technologies We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made. Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість. Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость. 2008 Article The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.25.Xz, 52.27.Cm, 52.70.Kz, 52.75.-d, 85.40.Sz http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111035 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition Вопросы атомной науки и техники |
| description |
We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made. |
| format |
Article |
| author |
Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| author_facet |
Demchishin, A.V. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. |
| author_sort |
Demchishin, A.V. |
| title |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_short |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_full |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_fullStr |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_full_unstemmed |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| title_sort |
investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111035 |
| citation_txt |
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT demchishinav theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg theinvestigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT demchishinav investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT evsyukovan investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT goncharovaa investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition AT kostineg investigationoftheopticalspectrainprocessofmagnetrondeposition |
| first_indexed |
2024-03-30T09:14:45Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:14:45Z |
| _version_ |
1796149739768512512 |