Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации

Техника и технология атомно-ионного распыления (АИР) в вариантах электродугового и высокочастотного возбуждений плазмы в парах Me-Cr-Al-Y были использованы для нанесения жаростойких вакуумных покрытий. Понижение температуры подложки в условиях бомбардировки поверхности растущего конденсата ускоренны...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Картмазов, Г.Н., Поляков, Ю.И., Слепцов, С.Н., Лукирский, Ю.В., Щербак, С.П., Чалый, С.О.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111303
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации / Г.Н. Картмазов, Ю.И. Поляков, С.Н. Слепцов, Ю.В. Лукирский, С.П. Щербак, С.О. Чалый // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 168-173. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine