Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации

Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации

Техника и технология атомно-ионного распыления (АИР) в вариантах электродугового и высокочастотного возбуждений плазмы в парах Me-Cr-Al-Y были использованы для нанесения жаростойких вакуумных покрытий. Понижение температуры подложки в условиях бомбардировки поверхности растущего конденсата ускоренны...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Картмазов, Г.Н., Поляков, Ю.И., Слепцов, С.Н., Лукирский, Ю.В., Щербак, С.П., Чалый, С.О.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111303
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации / Г.Н. Картмазов, Ю.И. Поляков, С.Н. Слепцов, Ю.В. Лукирский, С.П. Щербак, С.О. Чалый // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 168-173. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-111303
record_format dspace
spelling irk-123456789-1113032017-01-10T03:03:44Z Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации Картмазов, Г.Н. Поляков, Ю.И. Слепцов, С.Н. Лукирский, Ю.В. Щербак, С.П. Чалый, С.О. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Техника и технология атомно-ионного распыления (АИР) в вариантах электродугового и высокочастотного возбуждений плазмы в парах Me-Cr-Al-Y были использованы для нанесения жаростойких вакуумных покрытий. Понижение температуры подложки в условиях бомбардировки поверхности растущего конденсата ускоренными собственными ионами исключило формирование столбчатой структуры в покрытиях и, как следствие, сквозную пористость. По сравнению с электродуговым способ ионизации паров Me-Cr-Al-Y высокочастотным электромагнитным полем позволяет подавить капельную фракцию конденсирующегося потока плазмы. Исследованы в сравнении характеристики микроструктуры двух указанных типов конденсатов Me-Cr-Al-Y в зависимости от способа ионизации, температуры осаждения и отжига. Техніка та технологія атомно-іонного розпилення (АІР) у варіантах електродугового і високочастотного збудження плазми в парах Me-Cr-Al-Y були використані для нанесення жаростійких вакуумних покриттів. Зниження температури підкладки в умовах бомбардування поверхні зростаючого конденсату прискореними власними іонами виключило формування стовбчастої структури в покриттях і, як наслідок, наскрізну пористість. У порівнянні з електродуговим спосіб іонізації парів Me-Cr-Al-Y високочастотним електромагнітним полем дозволяє подавити крапельну фракцію потоку плазми, що конденсується. Досліджено в порівнянні характеристики мікроструктури двох зазначених типів конденсатів Me-Cr-Al-Y залежно від способу іонізації, температури осадження та відпалу. Technique and technology of atomic-ion sputtering (AIS) in variants of electric-arc high-frequency plasma excitation in pairs of Me-Cr-Al-Y was used for the application of vacuum heat-resistant coatings. Lowering the temperature of the substrate in a surface growing condensation bombardment that accelerated their own ions excluded the columnar structure formation in the coatings and, consequently, through porosity. Compared with electric arc, a ionization pairs Me-Cr-Al-Y way by high-frequency electromagnetic field can suppress the droplet fraction condensing in the plasma current. Studied in comparison the microstructure characteristics of these two condensates Me-Cr-Al-Y types, depending on the ionization method, deposition temperature and annealing. 2011 Article Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации / Г.Н. Картмазов, Ю.И. Поляков, С.Н. Слепцов, Ю.В. Лукирский, С.П. Щербак, С.О. Чалый // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 168-173. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111303 621.165.51:621.039.546.5:620.197.3 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Картмазов, Г.Н.
Поляков, Ю.И.
Слепцов, С.Н.
Лукирский, Ю.В.
Щербак, С.П.
Чалый, С.О.
Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
Вопросы атомной науки и техники
description Техника и технология атомно-ионного распыления (АИР) в вариантах электродугового и высокочастотного возбуждений плазмы в парах Me-Cr-Al-Y были использованы для нанесения жаростойких вакуумных покрытий. Понижение температуры подложки в условиях бомбардировки поверхности растущего конденсата ускоренными собственными ионами исключило формирование столбчатой структуры в покрытиях и, как следствие, сквозную пористость. По сравнению с электродуговым способ ионизации паров Me-Cr-Al-Y высокочастотным электромагнитным полем позволяет подавить капельную фракцию конденсирующегося потока плазмы. Исследованы в сравнении характеристики микроструктуры двух указанных типов конденсатов Me-Cr-Al-Y в зависимости от способа ионизации, температуры осаждения и отжига.
format Article
author Картмазов, Г.Н.
Поляков, Ю.И.
Слепцов, С.Н.
Лукирский, Ю.В.
Щербак, С.П.
Чалый, С.О.
author_facet Картмазов, Г.Н.
Поляков, Ю.И.
Слепцов, С.Н.
Лукирский, Ю.В.
Щербак, С.П.
Чалый, С.О.
author_sort Картмазов, Г.Н.
title Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
title_short Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
title_full Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
title_fullStr Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
title_full_unstemmed Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
title_sort покрытия me-cr-al-y, полученные атомно-ионным распылением (аир) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2011
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111303
citation_txt Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации / Г.Н. Картмазов, Ю.И. Поляков, С.Н. Слепцов, Ю.В. Лукирский, С.П. Щербак, С.О. Чалый // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 168-173. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT kartmazovgn pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
AT polâkovûi pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
AT slepcovsn pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
AT lukirskijûv pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
AT ŝerbaksp pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
AT čalyjso pokrytiâmecralypolučennyeatomnoionnymraspyleniemairvusloviâhélektrodugovojivysokočastotnojionizacii
first_indexed 2024-03-30T09:16:10Z
last_indexed 2024-03-30T09:16:10Z
_version_ 1796149767130054656

Схожі ресурси