Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system

Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system

In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2013
Автори: Semenyuk, V.F., Virko, V.F., Korotash, I.V., Osipov, L.S., Polotsky, D.Yu., Rudenko, E.M., Slobodyan, V.M., Shamrai, K.P.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112183
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-112183
record_format dspace
spelling irk-123456789-1121832017-01-23T22:30:51Z Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system Semenyuk, V.F. Virko, V.F. Korotash, I.V. Osipov, L.S. Polotsky, D.Yu. Rudenko, E.M. Slobodyan, V.M. Shamrai, K.P. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential. Експериментами на двох геліконних джерелах з плоскою збуджуючою антеною показано, что густиною плазми в дрейфовій камері та енергіями і густиною іонного потоку на підкладинкотримач можна ефективно керувати зміненням локального магнітного поля і потенциалу тримача. Экспериментами на двух геликонных источниках с плоской возбуждающей антенной показано, что плотностью плазмы в дрейфовой камере и энергиями и плотностью ионного потока на подложкодержатель можно эффективно управлять изменением локального магнитного поля и потенциала держателя. 2013 Article Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg; 52.50.Qt. http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112183 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
spellingShingle Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Semenyuk, V.F.
Virko, V.F.
Korotash, I.V.
Osipov, L.S.
Polotsky, D.Yu.
Rudenko, E.M.
Slobodyan, V.M.
Shamrai, K.P.
Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
Вопросы атомной науки и техники
description In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential.
format Article
author Semenyuk, V.F.
Virko, V.F.
Korotash, I.V.
Osipov, L.S.
Polotsky, D.Yu.
Rudenko, E.M.
Slobodyan, V.M.
Shamrai, K.P.
author_facet Semenyuk, V.F.
Virko, V.F.
Korotash, I.V.
Osipov, L.S.
Polotsky, D.Yu.
Rudenko, E.M.
Slobodyan, V.M.
Shamrai, K.P.
author_sort Semenyuk, V.F.
title Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
title_short Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
title_full Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
title_fullStr Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
title_full_unstemmed Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
title_sort сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2013
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112183
citation_txt Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT semenyukvf sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT virkovf sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT korotashiv sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT osipovls sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT polotskydyu sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT rudenkoem sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT slobodyanvm sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
AT shamraikp sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem
first_indexed 2024-03-30T09:20:51Z
last_indexed 2024-03-30T09:20:51Z
_version_ 1796149859592437760

Схожі ресурси