Determination of sp³ fraction in ta-C coating using XPS and Raman spectroscopy

• Дата: 2016
• Автори: Zavaleyev, V., Walkowicz, J., Sawczak, M., Klein, M., Moszyński, D., Chodun, R., Zdunek, K.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115409
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Determination of sp³ fraction in ta-C coating using XPS and Raman spectroscopy / V. Zavaleyev, J. Walkowicz, M. Sawczak, M. Klein, D. Moszyński, R. Chodun, K. Zdunek // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 4. — С. 84-92. — Бібліогр.: 45 назв. — англ.

The paper presents results of studies on the structure of tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) with a thickness in the range from 20 to 280 nm, deposited using pulsed vacuum arc technique with an electromagnetic Venetian blind plasma filter. The results of the phase structure analysis, obta...