Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering

The investigation results of optimal conditions for synthesis of thin-film tantalum oxide dielectric coatings using the cluster multipurpose setup are presented. The set-up consist of DC magnetron, ICP source, and mediumenergy ion source. Tantalum oxide was deposited by reactive magnetron sputteri...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2016
Автори: Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Yefymenko, N.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115455
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, N. Yefymenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 248-251. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine