Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride
This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms o...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117057 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-117057 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1170572017-05-20T03:03:26Z Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms of the glow pulsed discharge have been found to possess a plasma phase and an afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. The capacitive current pulse of about 0.5–1 μs in duration; 2. The current growth stage the duration of which depends on the gas species, the plasma phase duration and the pressure; 3. The plateau (remarkably pronounced only for carbon tetrafluoride and absent for other gases); 4. The current decrease of tens microseconds in duration down to the level corresponding to that of the direct voltage discharge. В данной работе были измерены осциллограммы тока и напряжения импульсного разряда в широком диапазоне частот (от 20 до 300 кГц), коэффициентов заполнения от 15 до 85 %, для двух значений давлений 0,1 и 1 Торр кислорода и C F₄. Было получено, что осциллограммы тока тлеющего импульсного разряда имеют плазменную фазу и фазу послесвечения. Наблюдались следующие этапы плазменной фазы: 1. Импульс емкостного тока длительностью примерно 0,5–1 мкс; 2. Этап роста тока, длительность которого зависела от сорта газа, длительности плазменной фазы и давления; 3. Плато (заметно выраженное лишь для CF₄ и отсутствующее в кислороде); 4. Уменьшение тока, длившееся десятки микросекунд, до уровня, соответствующего разряду с постоянным напряжением. У цій роботі були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 %, для двох значень тиску 0,1 і 1 Торр кисню і C F₄. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно 0,5–1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від сорту газу, тривалості плазмової фази і тиску; 3. Плато (помітно виражене лише для CF₄ і відсутнє в кисні); 4. Зменшення струму, що тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою. 2016 Article Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. 2519-2485 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117057 533.915 en Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms of the glow pulsed discharge have been found to possess a plasma phase and an afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. The capacitive current pulse of about 0.5–1 μs in duration; 2. The current growth stage the duration of which depends on the gas species, the plasma phase duration and the pressure; 3. The plateau (remarkably pronounced only for carbon tetrafluoride and absent for other gases); 4. The current decrease of tens microseconds in duration down to the level corresponding to that of the direct voltage discharge. |
| format |
Article |
| author |
Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. |
| spellingShingle |
Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride Журнал физики и инженерии поверхности |
| author_facet |
Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. |
| author_sort |
Lisovskiy, V.A. |
| title |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_short |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_full |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_fullStr |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_full_unstemmed |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_sort |
formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2016 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117057 |
| citation_txt |
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
| series |
Журнал физики и инженерии поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT lisovskiyva formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT ogloblinapa formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT dudinsv formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT yegorenkovvd formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT dakhovan formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT farenikvi formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride |
| first_indexed |
2023-10-18T20:28:55Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:28:55Z |
| _version_ |
1796150314023256064 |