Результати пошуку - Dudin, S.V.
- Показ 1 - 3 результатів із 3
-
1
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы... за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V.
Опубліковано 2009Отримати повний текст
Стаття -
2
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Опубліковано 2010Отримати повний текст
Стаття -
3
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
HF inductive discharge
ion-optical system
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
HF capacitive discharge
ion beam compensation
ion beam formation
ion source
plasma-chemical etching of semiconductor materials
plasma-chemical reactor
ВЧ емкостный разряд
источник ионов
компенсация пучка ионов
плазмохимический реактор
плазмохимическое травление полупроводниковых материалов
формирование пучка ионов