Research of structures with corrugated photoreceiving surface
Goffered photoreceiver surface in active regions perspective for manufacturing photosensitive structures can be form by chemical and epitaxial technology. Microreliefs are created on initial surface of semiconductor material by chemical method that comprises etching in special solutions. Epitaxial t...
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119218 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Research of structures with corrugated photoreceiving surface / A.V. Karimov, D.M. Yodgorova, E.N. Yakubov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2004. — Т. 7, № 4. — С. 372-376. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |