Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх амо...
Збережено в:
Видавець: | Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
---|---|
Дата: | 2008 |
Автори: | , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12763 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |