Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх амо...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12763 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-12763 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-127632010-10-22T12:02:20Z Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. Тонкие пленки и другие двумерные объекты Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові. 2008 Article Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1996-9988 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12763 548.736.15 ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| spellingShingle |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты Тонкие пленки и другие двумерные объекты Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| description |
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові. |
| format |
Article |
| author |
Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. |
| author_facet |
Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. |
| author_sort |
Куликовский, В.Ю. |
| title |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_short |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_full |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_fullStr |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_full_unstemmed |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_sort |
механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12763 |
| citation_txt |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kulikovskijvû mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT vorličekv mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT bogačp mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT strajnânekm mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT čtvertlikr mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT kurdûmovav mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT gorbanʹvf mehaničeskiesvojstvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T16:49:46Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:49:46Z |
| _version_ |
1796139987446530048 |