Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resis...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138944 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |