Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer

The structure, construction and mechanical stresses of the TaSi₂/Si multilayer manufactured by magnetron sputtering on the heated substrates were studied in the initial state and after thermal annealing. Deposition of multilayers is accompanied by formation of compressive mechanical stress. Reductio...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2018
Автори: Devizenko, A.Yu., Kopylets, I.A., Kondratenko, V.V., Pershyn, Y.P., Devizenko, I.Y., Zubarev, E.N., Savitskiy, B.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2018
Назва видання:Functional Materials
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/157428
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer / A.Yu. Devizenko, I.A. Kopylets, V.V. Kondratenko, Y.P. Pershyn, I.Y. Devizenko, E.N. Zubarev, B.A. Savitskiy // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 4. — С. 729-735. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine