Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer
The structure, construction and mechanical stresses of the TaSi₂/Si multilayer manufactured by magnetron sputtering on the heated substrates were studied in the initial state and after thermal annealing. Deposition of multilayers is accompanied by formation of compressive mechanical stress. Reductio...
Збережено в:
Дата: | 2018 |
---|---|
Автори: | Devizenko, A.Yu., Kopylets, I.A., Kondratenko, V.V., Pershyn, Y.P., Devizenko, I.Y., Zubarev, E.N., Savitskiy, B.A. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2018
|
Назва видання: | Functional Materials |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/157428 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer / A.Yu. Devizenko, I.A. Kopylets, V.V. Kondratenko, Y.P. Pershyn, I.Y. Devizenko, E.N. Zubarev, B.A. Savitskiy // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 4. — С. 729-735. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Application of carbon as a barrier layer in Sc/Si multilayer X-ray mirrors
за авторством: Pershyn, Yu.P., та інші
Опубліковано: (2018) -
Formation and evolution of intermixing zones in C/Si multilayer under heating
за авторством: Zhuravel, I.A., та інші
Опубліковано: (2014) -
Initial stages of diffusion and phase formation in Sc/Si layered systems
за авторством: Voronov, D.L., та інші
Опубліковано: (2008) -
Development of anti-reflecting surfaces based on Si micropyramids and wet-chemically etched Si nanowire arrays
за авторством: Druzhinin, A.A., та інші
Опубліковано: (2018) -
Photovoltaic effect in p–SiC/p–Si heterojunction
за авторством: Kozlovskyi, A.A., та інші
Опубліковано: (2013)