Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2017
Автори: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2017
Назва видання:Сверхтвердые материалы
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine