Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-160147 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1601472019-10-25T01:26:27Z Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Исследование процессов обработки Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні. The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface. 2017 Article Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 621.923 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки |
| spellingShingle |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Сверхтвердые материалы |
| description |
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. |
| format |
Article |
| author |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_sort |
Филатов, Ю.Д. |
| title |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_short |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_fullStr |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full_unstemmed |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_sort |
мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 |
| citation_txt |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT sidorkovi monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT kovalevsv monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT filatovaû monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT montejg monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki |
| first_indexed |
2023-06-10T11:08:01Z |
| last_indexed |
2023-06-10T11:08:01Z |
| _version_ |
1796154555167145984 |