Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160147 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |