2025-02-23T13:23:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-167289%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:23:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-167289%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:23:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T13:23:35-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
Приведено основні принципи створення на базі вакуумного універсального поста ВУП-5(М) та подальшого використання плазмохімічного устаткування для осадження тонкоплівкових, у тому числі наношарових, матеріалів із парів зазвичай рідких прекурсорів. Метод можна класифікувати як осадження в газовому сер...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2019
|
| Series: | Сверхтвердые материалы |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167289 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Be the first to leave a comment!