Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок

• Дата: 2019
• Автори: Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2019
• Назва видання: Сверхтвердые материалы
• Теми: Одержання, структура, властивості
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167289
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок / О.К. Порада, В.І. Іващенко, Л.А. Іващенко, А.О. Козак, О.О. Ситіков // Надтверді матеріали. — 2019. — № 1 (237). — С. 42-50. — Бібліогр.: 26 назв. — укр.

Приведено основні принципи створення на базі вакуумного універсального поста ВУП-5(М) та подальшого використання плазмохімічного устаткування для осадження тонкоплівкових, у тому числі наношарових, матеріалів із парів зазвичай рідких прекурсорів. Метод можна класифікувати як осадження в газовому сер...