Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber i...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194770 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194770 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1947702023-11-29T17:11:07Z Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. Low temperature plasma and plasma technologies Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber in response to ignition of magnetron discharge and inductively coupled plasma are presented. It is shown that dissociation level of all species grows with the magnetron current increase while its dependence on oxygen/nitrogen ratio is non-monotonic. Вивчаються процеси в реактивній плазмі під час магнетронного осадження оксинітриду танталу з ICP-активацією реактивного газу залежно від частки кисню. Представлені результати спектроскопічного дослідження оптичного випромінювання з плазми та мас-спектрометрії газового складу у вакуумній камері у відповідь на запалювання магнетронного розряду та індуктивно зв'язаної плазми. Показано, що рівень дисоціації всіх молекул зростає із збільшенням струму магнетрона, тоді як його залежність від співвідношення кисень/азот є немонотонною. Изучены процессы в реактивной плазме при магнетронном осаждении оксинитрида тантала с ICP-активацией реактивного газа в зависимости от процентного содержания кислорода. Приведены результаты спектроскопических исследований оптического излучения плазмы и масс-спектрометрии состава газа в вакуумной камере при зажигании магнетронного разряда и индуктивно связанной плазмы. Показано, что уровень диссоциации всех молекул растет с увеличением тока магнетрона, а его зависимость от соотношения кислород/азот немонотонна. 2021 Article Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194770 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber in response to ignition of magnetron discharge and inductively coupled plasma are presented. It is shown that dissociation level of all species grows with the magnetron current increase while its dependence on oxygen/nitrogen ratio is non-monotonic. |
| format |
Article |
| author |
Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. |
| author_facet |
Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. |
| author_sort |
Dudin, S. |
| title |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_short |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_full |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_fullStr |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_full_unstemmed |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_sort |
optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2021 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194770 |
| citation_txt |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT dudins opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT yakovins opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT zykova opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT yefymenkon opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride |
| first_indexed |
2024-03-31T09:12:54Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:12:54Z |
| _version_ |
1796157984577945600 |